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JS-2350真空溅射镀膜机

JS-2350 Sputter Coating Machine

    JS-2350是我公司开发的一款超大型磁控溅射镀膜设备,该设备成膜速率高,TiO2速率可达0.22nm/s以上,SiO2速率可达0.45nm/s以上,具有生产效率高、稳定性高、重复性高的特点,适合大批量连续作业的要求。

    该设备采用了以Micosoft Windows为OS的工业控制系统,镀膜全过程自动化(包括自动支取安装的流水线机构),全过程监控记录镀膜数据。


JS-2350真空溅射镀膜机(图1)